超纯水加热系统

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超纯水加热系统由超纯石英加热棒、加热调节器、PLC等主要核心部件组成。通过精确的控制逻辑根据客户设定的温度值输出超纯水,与纯水接触的所有部件都是清洁材料,使用过程中不会产生有害的污染颗粒和金属离子,是半导体制造中不可或缺的核心部件。用于半导体晶片清洗和漂洗,phot

技术优势

零污染技术: 该产品由高纯度石英材料制成,清洁度高

加热效率高: 电热丝采用卤素灯管元件,性能稳定

结构紧凑: 可满足多种恶劣安装条件,节省机器空间

灵敏度: PID精确温度控制,同时适应多种电源模式

安全保护: 流量传感器、超温/超压报警、泄漏保护

设备认证: 符合SEMI S2安全认证要求

产品详情

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