超纯水加热系统由超纯石英加热棒、加热调节器、PLC等主要核心部件组成。通过精确的控制逻辑根据客户设定的温度值输出超纯水，与纯水接触的所有部件都是清洁材料，使用过程中不会产生有害的污染颗粒和金属离子，是半导体制造中不可或缺的核心部件。用于半导体晶片清洗和漂洗，phot

本氨水设备是一款专为高精度水质调控场景设计的专业设备，聚焦 “精准控制、稳定可靠、安全节能” 核心优势，尤其适配半导体等对水质电导率、运行稳定性及安全标准要求严苛的行业，可通过精细化调控为生产工艺保驾护航.
应用于Cu与Co制程，防止金属腐蚀，提高互联可靠性，且通过改善纯水中的电导率，抑制静电荷积累，从而抑制静电对wafer的损伤，提高良率与产量

二氧化碳水 (DICO2) 将CO2气体溶解到水中，电离生成碳酸根和氢离子，降低纯水的电阻率，从而实现传导电荷消除静电的效果。防止清洗过程中产生静电，损坏晶圆，降低成品率。适用于晶圆表面预处理等。