氨水设备
本氨水设备是一款专为高精度水质调控场景设计的专业设备，聚焦 “精准控制、稳定可靠、安全节能” 核心优势，尤其适配半导体等对水质电导率、运行稳定性及安全标准要求严苛的行业，可通过精细化调控为生产工艺保驾护航.
应用于Cu与Co制程，防止金属腐蚀，提高互联可靠性，且通过改善纯水中的电导率，抑制静电荷积累，从而抑制静电对wafer的损伤，提高良率与产量
应用于Cu与Co制程，防止金属腐蚀，提高互联可靠性，且通过改善纯水中的电导率，抑制静电荷积累，从而抑制静电对wafer的损伤，提高良率与产量
技术优势
通过高精度流量与溶解比例控制，实现高精度的电导率控制；
电阻率控制范围：5-40uS/cm，精度可达±0.1uS/cm；
流量控制范围：up to 40lpm 流量波动下电阻率可控，保证良好的稳定性；
支持远程硬控与多种通信协议 高可靠性与高稳定性；
极低的气体，化学品与电力消耗，极低的运行成本;
完善的安全互锁保护，满足SEMI S2，S6等安全认证要求。
