高纯度功能水-二氧化碳水 (DICO2)
二氧化碳水 (DICO2) 将CO2气体溶解到水中，电离生成碳酸根和氢离子，降低纯水的电阻率，从而实现传导电荷消除静电的效果。防止清洗过程中产生静电，损坏晶圆，降低成品率。适用于晶圆表面预处理等。
技术优势和特点
稳定性: 流线型模块化设计，结合独创的管道分布技术，满足先进工艺对工艺参数的严格要求。
可靠性: 配备高性能中空纤维膜融合模块，提高使用寿命。
灵活的功能扩展: 可选增压泵，电阻率自动控制，远程控制和双输出等增强功能，适应不同的生产线布局和自动化集成要求。
