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高纯度功能水-二氧化碳水 (DICO2)

二氧化碳水 (DICO2) 将CO2气体溶解到水中，电离生成碳酸根和氢离子，降低纯水的电阻率，从而实现传导电荷消除静电的效果。防止清洗过程中产生静电，损坏晶圆，降低成品率。适用于晶圆表面预处理等。

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