臭氧气体系统 (ODS)
臭氧气体系统是集多腔/多通道、集成高浓度臭氧发生器、气路模块、系统控制器、电源模块、冷却水控制电路及安全联锁装置于一体的臭氧设备。应用于半导体工艺，包括光刻胶剥离，ALD/SACVD/UV固化/f-cvd。
技术优势
高臭氧浓度: 高达350g/m3
响应速度快: 层流压差高精度MFC/APC，响应速度 <200ms
适应性: 接口与MKS匹配，可适应日语TMEIC接口；
通信协议: 支持ModbusTCP
SEMI认证: SEMI S2/S6/F47
技术优势
高臭氧浓度: 高达350g/m3
响应速度快: 层流压差高精度MFC/APC，响应速度 <200ms
适应性: 接口与MKS匹配，可适应日语TMEIC接口；
通信协议: 支持ModbusTCP
SEMI认证: SEMI S2/S6/F47
