小型综合臭氧系统 (COS)
小型集成臭氧系统是一种紧凑、高效的臭氧发生和处理设备。该系统集高压放电室、高压电源、系统控制器、压力传感器、臭氧浓度计、质量流量计 (MFC) 、自动压力控制器 (APC) 等器件于一体。
应用于半导体工艺，包括光刻胶剥离、ALD/SACVD/PECVD/UV固化和晶圆表面处理。
应用于半导体工艺，包括光刻胶剥离、ALD/SACVD/PECVD/UV固化和晶圆表面处理。
技术优势
结构可靠性: 散热效率高，电源与腔体一体化散热设计
精度控制: 内置高精度臭氧浓度计，精度可达0.1g/m3
响应速度快: 层流差压MFC/APC自动压力控制器，响应速度 <200ms
