臭氧破坏器 (OD)
臭氧破坏器是一种高效环保的臭氧气体处理设备。它通过高效催化剂将高浓度臭氧快速分解为氧气，消除臭氧对工厂服务管道的腐蚀，防止臭氧泄漏，完美契合半导体行业 @零排放、高安全性” 的严格标准。用于半导体工艺，分解残余臭氧，消除安全隐患。
技术优势
催化分解能力: 分解后臭氧浓度远 <0.1ppm
结构稳定性: 全焊接结构，设备独立，免维护，安装简单
性能优势: 快速响应时间，同时无耗材
适应性: 安装尺寸和接口为行业内进口主流品牌 (如API等)
技术优势
催化分解能力: 分解后臭氧浓度远 <0.1ppm
结构稳定性: 全焊接结构，设备独立，免维护，安装简单
性能优势: 快速响应时间，同时无耗材
适应性: 安装尺寸和接口为行业内进口主流品牌 (如API等)
