臭氧水分解设备
臭氧水分解器是半导体湿法清洗工艺的核心设备。通过紫外 (UV) 光解技术和特殊的流道设计，将清洗后残留的臭氧水高效分解为无害的氧气和水，消除臭氧水对植物服务管道的腐蚀，并通过植物服务回收节省大量超纯水。它完全符合半导体行业 @零排放” 的严格标准
技术优势和特点
高性能: 最大分解流量可达60lpm；
耐腐蚀: 采用氟材料定制反应腔，耐长期强氧化环境侵蚀；
分解率: 优化紫外线照射路径设计，采用滚动流道设计，分解后臭氧水浓度小于0.1ppm，远远超过行业安全标准；
可靠性: 配置多个安全联锁装置，严格遵循SEMI S2标准设计，实现异常工况实时报警，确保人机和环境安全；
灵活的功能扩展: 可以选择蓝宝石灯管组件，专门用于含HF的臭氧水溶液。对氢氟酸具有优异的耐腐蚀性，满足半导体湿法清洗中复杂工况的定制要求。
